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電子工(gōng)業淨化車(chē)間重點參數
B50472-2013潔淨廠房設計規範
GB50472-2008-電子工(gōng)業潔淨廠房設計規範
GB50515-2010導(防)靜電地面設計規範
■ 服務領域:精密電子、半導體(tǐ)、LED、測試與封裝、光導纖維、锂電池等。
■ 重點注意事項:
1、人流
1-1、人員(yuán)淨化
1-2、潔淨室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;
1-3、單人空氣吹淋室,應按最大(dà)班人數30人設一(yī)台。潔淨室人員(yuán)超過5人時,空氣吹淋室一(yī)側應設單向旁通門;
1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開(kāi)啓,應采取連鎖控制措施;
1-5、空氣潔淨度等級爲5級或嚴于5級的垂直單向流潔淨室,宜設氣閘室。
2、物(wù)流
2-1、潔淨室内的設備和物(wù)料出入口,應獨立設置,并應根據設備和物(wù)料的特征、性質、形狀等設置淨化用室及相應的物(wù)淨設施。
2-2、物(wù)料淨化用室與潔淨室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
3、靜壓差
3-1、不同等級的潔淨室之間的靜壓差應大(dà)于等于5Pa;
3-2、潔淨室與非潔淨室之間的靜壓差應大(dà)于5Pa;
3-3、潔淨室與室外(wài)的靜壓差應大(dà)于10Pa。
4、根據生(shēng)産要求需設計相應防靜電設施。
5、電子工(gōng)業潔淨室空氣潔淨度等級表